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工業技術研究院
【科技解壓縮 Episode 13】麻省理工科技評論導讀/地球上最精密的機器-EUV 曝光機
9 minutes Posted Mar 10, 2022 at 10:00 am.
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猜猜看地球上最精密複雜的機器是什麼?


這機器一部要價33億元,截至2021年底,全世界大約只有100多部。臺灣廠商就包了一半。

猜到了嗎?這部機器就是護國神山用來生產IC晶片的護國神器-極紫外光EUV曝光機。

麻省理工科技評論(MIT Technology Review)這篇文章,向外界揭露了荷蘭艾司摩爾公司(AMSL)研發EUV機台的過程,以及這部機器精密的程度。歡迎一起來了解,臺灣的護國神器。


全文請見《工業技術與資訊》月刊:

https://www.itri.org.tw/ListStyle.aspx?DisplayStyle=18_content&SiteID=1&MmmID=1036452026061075714&MGID=1130253432751423527